上海微电子是国企吗?
不是,是国有控股企业(具体多少股份不清楚) 上海微电子装备集团有限公司(简称:上海微电子)是由中国科学院上海光学精密机械研究所创建于1994年,由国科集团、上海国盛(集团)有限公司、中科院上海分院按65%、20%、15%的股权比例投资组建的中外合资企业。
目前,上海微电子的主要产品有半导体器件测试设备(刻蚀机、分选机、腐蚀垫板等)和集成电路制造装备(干法刻蚀机、等离子激元显微镜、光子能量叠加器等)两大类,80多个品种,部分产品在国内市场占有率居首位。其中,半导体器件测试装备产品成功打破国际垄断,填补了国内空白;3.5代(及以上)集成电路制造装备产品实现了进口替代并占据国内市场重要份额 公司拥有上海临港、北京怀柔两个基地。在北京建有集成电路技术研究中心和北京微系统研究中心,在上海建有研发中心和国际创新研究院。
公司在发展过程中一直注重技术和产品的自主开发,建立了以企业为主体,产学研相结合的技术创新体系。在等离子激元光刻技术方面,取得了超分辨光刻关键技术的重大突破,形成了具有自主知识产权的国际领先技术;
在大批量的集成电路制造装备方面,突破了一系列关键技术,实现了3-5.5nm等离子激元刻蚀机和离子束成像检测设备的国产化,并达到了工业应用水平。